隨著全球經濟的發(fā)展，低溫等離子設備環(huán)境污染問題日益突出，各種類型的環(huán)境污染層出不窮，嚴重危及了人類的健康與生存。為了人類自身的安危，治理環(huán)境問題迫在眉睫。近年，全球涌現出許多治理工業(yè)廢氣污染問題的各種技術，如超聲波、光催化氧化、生物法、冷凍法、焚燒法等。其中低溫等離子體作為一種高效、低能耗、處理量大、操作簡單的環(huán)保新技術來處理有毒、有害及難降解物質，低溫等離子設備是近年來一項重大科技成果，具有其它方法無法比擬的絕對優(yōu)勢。

低溫等離子體技術應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態(tài)污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染;燃燒法需要很高的操作溫度;生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時消除混合污染物(有些情況還具有協(xié)同作用)，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統(tǒng)構成就單一緊湊，在運行費用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設備所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用也很低。

低溫等離子體技術在氣態(tài)污染物治理方面優(yōu)勢顯著。其基本原理是在電場的加速作用下，產生高能電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到消除氣態(tài)污染物的目的。

低溫等離子體去除污染物的機理：

等離子體化學反應過程中，低溫等離子設備等離子體傳遞的化學能量在反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 高能電子的直接轟擊

(2) O原子或臭氧的氧化

             O₂+e→2O

(3) OH自由基的氧化

             H₂O+e→OH+H

             H₂O+O→2OH

             H+O₂→OH+O

(4) 分子碎片+氧氣的反應 

從以上過程可以看出，低溫等離子設備電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團;之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

低溫等離子體去除污染物的原理：

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：低溫等離子設備在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，低溫等離子設備適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環(huán)境污染處理領域中的一項具有極強優(yōu)勢的高新技術，等離子體受到了國內外化工廢氣治理方面的高度評價。